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日本IA空气弹簧式除振装置IAK系列

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日本IA空气弹簧式除振装置IAK系列
日本IA空气弹簧式除振装置IAK系列,是将空气弹簧与高灵敏度水平传感器集成为一个小型组件的除振产品,在显微镜、激光等应用技术领域;在半导体制造、检测装置领域都得到了广泛的运用,是具有出众业绩的空气弹簧系统。从几个Hz到几百个Hz的大范围频率频带中它的优越性能都得到了认证和好评。另外即使停止供给空气,空气弹簧下部的特殊材质防振橡胶也照样能够保护负载仪器的精密构造。 根据精密仪器的重量,日本IA空气减震系统拥有从IAK80到380 的11个种类的阵容。可以相应的满足从数百公斤甚至到10吨以上
日本IA空气弹簧式除振装置IAK系列
日本IA空气弹簧式除振装置IAK系列,是将空气弹簧与高灵敏度水平传感器集成为一个小型组件的除振产品,在显微镜、激光等应用技术领域;在半导体制造、检测装置领域都得到了广泛的运用,是具有出众业绩的空气弹簧系统。从几个Hz到几百个Hz的大范围频率频带中它的优越性能都得到了认证和好评。另外即使停止供给空气,空气弹簧下部的特殊材质防振橡胶也照样能够保护负载仪器的精密构造。 根据精密仪器的重量,日本IA空气减震系统拥有从IAK80到380 的11个种类的阵容。可以相应的满足从数百公斤甚至到10吨以上
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   IAK系列空气弹簧式除振平台

 IAK系列产品是为精密仪器量身定做,由低成本、最适合精密仪器的除振系统构成
日本IA的除振装置,除了具有优秀的性能外,更重视产品的灵活性。当今有越来越多的精密仪器需要将最匹配的除振装置与精密仪器直接组装,能够满足这类客户需求的除振装置就是我们的IAK系列。该系列产品不仅拥有优越的除振性能,还具有强大的拓展性。我们的IAK系列产品可以为您的精密仪器提供更为理想的除振环境。
被动 空气弹簧 单元组合
 适用领域
计测・计量仪器 
半导体制造・精密加工

产品概要・特点

 技术领先・业绩显著的空气弹簧式除振系统
IAK系列产品的空气弹簧系统被应用于广泛的领域中,例如:显微镜、激光等应用技术领域;半导体制造、检测装置领域等等。由于具有出色的除振性能,而被广大客户所认可并使用。在几赫兹到几百赫兹大范围频域中,产品的优越性能得到了客户广泛地认证和好评。而且,即使停止供给空气,空气弹簧下部的特殊材质—防振橡胶也同样可以保护负载仪器的精密构造。
 IAK系列产品是具有通用性的组合型装置
日本IA所追求的是,在更小的空间中,设置的除振系统能与您的设备完美组装在一起。IAK系列正是将空气弹簧与高灵敏度水平传感器集成为一个小型组件的系列。从而可以不用大幅度改变设备本身的规格就能进行安装,进而获得很高的除振性能。
 总体高度统一为185mm(浮起时)
这种除振系统的总体高度全部统一为185mm。万一由于设计的变更,而导致负载仪器的重量有变化时,我们也能在装置总体高度不变的前提下满足您的要求。
 可负载重量范围广
需要除振的精密仪器的种类和使用目的每年都在不断变化,呈现出多样化趋势。我们应时而动,根据精密仪器的重量,我们为您提供从IAK-80到IAK-380共11个种类的产品,可以相应满足数百公斤乃至10吨级以上的大型精密仪器的负载。
 能即时应对负载物的移动
当负载物的移动、基板的交换、自动加工机、测量机等产生负载重量的变化时,使用弹性体的空气弹簧,能回复到原位置就显得非常重要。IAK系列的产品为了控制空气弹簧,以我们独创的高灵敏度水平传感器作为标准配置,实现了在垂直方向上的重复位置精度能达到正负200微米。 
近年,伴随着负载物的高速化,出现了搭载台摇晃问题的案例。使用2段式传感器既可以减少摇晃的时间,同时也能使重复位置精度达到正负100微米,从而使被动除振系统对应的移动负载提高到了极限。(如果由于移动负载而产生的摇晃时间成为问题,请事先联系我们)
 也适用于净化室中使用
在高级别的净化室内使用时,可以改用为能集中排气的、净化室专用的水平维持传感器。(因为是特殊定制的产品,详细情况请另行咨询。此外,这里的传感器不能变更为2段式传感器)

产品规格

型式IAK-80IAK-100IAK-120IAK-140IAK-160IAK-180
固有频率垂直・水平:2.5~3.0Hz
除振方式空气弹簧
制振方式空气阻尼孔
保持水平方式空气阻尼孔水平传感器自动保持水平度(回复精度±200μm)
设备尺寸
W×D×H(mm)
170×170
×185
180×180
×185
200×200
×185
210×210
×185
240×240
×185
250×250
×185
设备重量(kg)
[空气弹簧1個]
10.51415192127.5
负载重(kg)
[空气弹簧
4個使用時]
5608801200170022002800
标准配件过滤式减压表; Φ6mm的氨基甲酸酯管5m(10m:IAK-200以上); 三向接头2个
供给压力0.40~0.70MPa(气源:空压机、工厂空气、氮气瓶)
型式IAK-200IAK-230IAK-270IAK-330IAK-380
固有频率垂直・水平:2.5~3.0Hz
除振方式空气弹簧
制振方式空气阻尼孔
保持水平方式空气阻尼孔水平传感器自动保持水平度(回复精度±200μm)
设备尺寸
W×D×H(mm)
260×260
×185
300×300
×185
320×320
×185
370×370
×185
430×430
×185

设备重量(kg)
[空气弹簧1個]
3243.55267.590
负载重(kg)
[空气弹簧
4個使用時]
360046006400960013000
标准配件过滤式减压表; Φ6mm的氨基甲酸酯管5m(10m:IAK-200以上); 三向接头2个
供给压力0.40~0.70MPa(气源:空压机、工厂空气、氮气瓶)
 选择机种以及组装装置设计的注意事项
 支撑负载台的空气弹簧之间的跨距越大越好。
 在负载台上有移动负载物的情况下,最好在考虑有偏载条件下选择AP系列。如果负载台有摇晃的情况,在对稳定时间有要求的情况下,请联系我们。(如果方便告知移动物的重量、速度、加速度、行程等信息,我们会给您提供可行性建议)
 负载台外围如果有附加物,需要确保10mm以上的空隙。
 在运输组装装置时,为了使负载台和架台不产生错位,需另用其他固定螺丝或者金属零件安装后再运输。
 为了更好地发挥除振性能,负载台和架台最好都选择高刚性的。
 IAK系列中,4个一套的空气弹簧是基本配套,如果需要变更数量的话,请与我们联系。

 负载物(包括负载台)的重心位置,需要确保在如下图知识范围内:






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