紧凑的机身集成了6自由度的主动除振机构，可实现以往的被动型无法达到的除振效果。这款机器可以最大限度的发挥近年来发展神速的纳米技术领域所要求的高精度及高分解能力。

主动 空气弹簧

 桌上型有2种尺寸，桌子型有2种尺寸，合计4种尺寸。

搭载盘的材料如下：

桌上型：振动控制铝板

桌子型：钢铁制蜂巢光学平板

 对于小型SPM等轻量的搭载物，为了能够更好地发挥其除振性能，准备了轻负重的型号。

 主动控制所不可或缺的增益调整采用了独有的控制系统，通过这种方式可以得到自动优化。（※）

 所需要使用的工具只需要接通电源、无需准备压缩机等空气源。

 对安装场所、使用环境没有特别要求。

 ※ 搭载物是台面等可移动物体时，在某些环境下有可能无法自动调整。            敬请谅解。