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ME40桌上型/桌子型主动减震系统

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ME40桌上型/桌子型主动减震系统
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   ME40系列桌上型/桌子型主动除振系统

 漫长的历史和出货业绩之中所磨炼出的除振技术开发的ME40系列

紧凑的机身集成了6自由度的主动除振机构,可实现以往的被动型无法达到的除振效果。这款机器可以最大限度的发挥近年来发展神速的纳米技术领域所要求的高精度及高分解能力。

主动 空气弹簧

 适用领域

扫描探针显微镜、共聚焦激光显微镜、干涉仪系统、三维形状测定器及

其他的精密测定 精密加工机

产品概要・特点

 6自由度主动控制
ME40系列可以随时监控搭载盘的振动,通过内置的驱动器施加反向位的力,通过这种方式实现振动控制。实现3维(6自由度)的控制。
 丰富的尺寸变化

 桌上型有2种尺寸,桌子型有2种尺寸,合计4种尺寸。

搭载盘的材料如下:

桌上型:振动控制铝板

桌子型:钢铁制蜂巢光学平板

轻负重优化设计的L型号

 对于小型SPM等轻量的搭载物,为了能够更好地发挥其除振性能,准备了轻负重的型号。

 自动主动调整&自动水平调整

 主动控制所不可或缺的增益调整采用了独有的控制系统,通过这种方式可以得到自动优化。(

 只需要接通电源即可使用

 所需要使用的工具只需要接通电源、无需准备压缩机等空气源。

 对安装场所、使用环境没有特别要求。

  载物是台面等可移动物体时,在某些环境下有可能无法自动调整。            敬请谅解。


产品规格

項目/型式ME40-0405N(L)ME40-0506NME40-0806DME40-1007D  
系统形状桌上型桌子型
主动控制范围0.5Hz~100Hz(100Hz以上是被动控制)
自动机构主动控制调整、水平调整
状态记载在前端的LCD控制面板上
可搭载的质量(Kg)80(L是40)80200200
搭载面的尺寸(mm)430*530530*630800*6001000*750
机体尺寸(mm)430*530*90530*630*90890*690*7001090*840*700
机体质量(kg)2838155190
电源规格电源(100-240V、AV单相、50/600Hz)
标准附带品使用说明书、电源线(2m)
选项搭载盘蜂巢光学平板-






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