6自由度主动控制
ME40系列可以随时监控搭载盘的振动,通过内置的驱动器施加反向位的力,通过这种方式实现振动控制。实现3维(6自由度)的控制。
丰富的尺寸变化
桌上型有2种尺寸,桌子型有2种尺寸,合计4种尺寸。
搭载盘的材料如下:
桌上型:振动控制铝板
桌子型:钢铁制蜂巢光学平板
轻负重优化设计的L型号
对于小型SPM等轻量的搭载物,为了能够更好地发挥其除振性能,准备了轻负重的型号。
自动主动调整&自动水平调整
主动控制所不可或缺的增益调整采用了独有的控制系统,通过这种方式可以得到自动优化。(※)
只需要接通电源即可使用
所需要使用的工具只需要接通电源、无需准备压缩机等空气源。
对安装场所、使用环境没有特别要求。
※ 搭载物是台面等可移动物体时,在某些环境下有可能无法自动调整。 敬请谅解。